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KLA-Tencor, 레티클 검사 기술의 새로운 시스템 발표
남일희 기자  |  sun@cdnews.co.kr
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승인 2016.08.17  11:43:39
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[통신일보 = 남일희 기자]   KLA-Tencor Corporation(NASDAQ: KLAC)이 10nm 이하의 마스크 기술에 적용할 수 있는 레티클 검사 시스템 Teron 640, Teron SL655, Reticle Decision Center(RDC) 등 신제품 3종을 발표했다.

이 시스템은 현재 및 차세대 마스크 설계 핵심 장비로, 마스크 작업과 IC 제조 노광 공정에서 불량을 효과적으로 식별할 수 있는 장비다.

Teron 640 검사 시스템은 마스크 작업에서 첨단 광학 마스크를 정밀하게 선별하는 데 필요한 감도를 제공한다.

Teron SL655 검사 시스템은 투입되는 레티클 품질의 예비검사, 레티클 손상의 모니터링 및 수율에 심각한 영향을 주는 레티클 불량을 검출해 준다.

RDC는 Teron 검사기가 검출한 종합적인 레티클 품질 측정치는 자동 불량품 폐기 결정을 도출하고, 공정주기를 개선하며 수율에 영향을 주는 레티클 관련 패턴 오류를 줄여주도록 데이터 분석 및 관리를 담당한다.


[통신일보 = 남일희 기자 / sun@cdnews.co.kr]

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